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隨著水處理行業(yè)快速發(fā)展，不光有可供人飲用的凈水，清洗各機(jī)器的純水也隨之而來(lái)。而超純水處理設(shè)備在各行業(yè)應(yīng)用十分廣泛，尤其是芯片制造行業(yè)對(duì)超純水的水質(zhì)要求非常高，在生產(chǎn)過(guò)程中需用大量的高純水、超純水清洗半成品、成品。這也對(duì)超純水處理設(shè)備的處理工藝及產(chǎn)品的簡(jiǎn)易性、自動(dòng)化程度、生產(chǎn)的連續(xù)性、可持續(xù)性等提出了嚴(yán)格的要求。
一般來(lái)說(shuō)，我國(guó)電子工業(yè)部電子級(jí)水質(zhì)技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)(18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm五級(jí)標(biāo)準(zhǔn))、我國(guó)電子工業(yè)部高純水水質(zhì)試行標(biāo)準(zhǔn)、美國(guó)半導(dǎo)體工業(yè)用純水指標(biāo)、日本集成電路水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)、國(guó)內(nèi)外大規(guī)模集成電路水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)。
為滿足用戶需要，達(dá)到符合標(biāo)準(zhǔn)的水質(zhì)，盡可能地減少各級(jí)的污染，延長(zhǎng)設(shè)備的使用壽命、降低操作人員的維護(hù)工作量。在工藝設(shè)計(jì)上，超純水處理設(shè)備中水箱均設(shè)有液位控制系統(tǒng)、水泵均設(shè)有壓力保護(hù)裝置、在線水質(zhì)檢測(cè)控制儀表、電氣采用PLC可編程控制器，真正做到了無(wú)人職守，有更高的性價(jià)比和設(shè)備可靠性。
